鍍鋅螺旋風(fēng)管--排氣系統(tǒng)分類
鍍鋅螺旋風(fēng)管，排氣系統(tǒng)的分類您了解嗎？下面我們就這一問題詳細(xì)的介紹一下：
?。?）一般排氣：其來源于機(jī)臺(tái)運(yùn)轉(zhuǎn)發(fā)熱產(chǎn)生不含有害物質(zhì)或是高溫氣體，但考慮無塵室空調(diào)負(fù)荷與過濾裝置負(fù)荷，因此將廢氣以一般風(fēng)車抽至大氣排放至大氣環(huán)境而不需處理。注：GEX采用鍍鋅螺旋風(fēng)管，HEX采用SUS304酸排（SEX）、堿排（AEX）系統(tǒng)流程。
?。?）酸堿性排氣：其主要來源于化學(xué)清洗工作站，螺旋風(fēng)管加工，清洗晶片時(shí)所產(chǎn)生之揮發(fā)性氣體，此氣體部分含有濃煙，螺旋風(fēng)管，部分則對(duì)呼吸系統(tǒng)有刺激性作用有害人體，故必須經(jīng)過Scrubber中水洗中和處理，再由風(fēng)機(jī)排入大氣。
?。?）有機(jī)rong劑排氣：其主要來源于涂膠、顯影工序和各工序使用有機(jī)rong劑清洗過程時(shí)所產(chǎn)生，需經(jīng)有機(jī)廢氣處理設(shè)備處理后，再由風(fēng)機(jī)排入大氣。
（4）堿性剝離排氣：主要來源為陣列工程的剝離工序所使用之剝離液，廢氣首先經(jīng)過冷凝吸收器，將廢氣中的剝離液冷卻下來，冷凝器吸收處理后的廢氣所含的廢氣濃度會(huì)大為下降，螺旋風(fēng)管報(bào)價(jià)，然后送至CentralScrubber做水洗中和處理，再由風(fēng)機(jī)排大氣。
?。?）應(yīng)急排氣：當(dāng)潔凈室機(jī)臺(tái)端風(fēng)管內(nèi)探頭感應(yīng)氣體濃度過高時(shí)，緊急啟用以使生產(chǎn)正常并維持室內(nèi)環(huán)境。
螺旋風(fēng)管路注意事項(xiàng)及劃分原則
螺旋風(fēng)管分單層和雙層。螺旋風(fēng)管的材料和管附件均要訂貨，布置完后提供管材和管附件的準(zhǔn)確數(shù)是給主辦—螺旋風(fēng)管的彎頭等附件必須符合訂貨標(biāo)準(zhǔn)六。
由于風(fēng)管的壁厚比較薄，體積大，過長(zhǎng)的風(fēng)管在起吊安裝時(shí)容易變形，所以風(fēng)管在劃分管段時(shí)長(zhǎng)的長(zhǎng)度不要超過4000imn，補(bǔ)裝管長(zhǎng)度控制在1500，.以內(nèi)—螺旋風(fēng)管與方形風(fēng)管不能歸屬同一管路。
方形風(fēng)管與自制的圓形風(fēng)管可歸屬同一管路，—裝配管‘預(yù)裝(A階段)，非預(yù)裝(Z階段)的劃分規(guī)則與《SPDM-Ventilation》相同:
每層風(fēng)管管號(hào)的劃分要清楚，不允許有重管號(hào)，應(yīng)與貂PDM一Ventilati。心相同鄉(xiāng)—管號(hào)書寫格式與之SPDM一Ventilation》相同，—不管螺旋風(fēng)管或是方形風(fēng)管，風(fēng)管管號(hào)的劃分zui好按照風(fēng)的流向順序劃分。
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